簡易檢索 / 檢索結果

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    輔助電極串聯於多晶矽基材之線放電加工研究
    • 機械工程系 /104/ 碩士
    • 研究生： 卞廣強   指導教授： 郭俊良
    • 本研究之創新為在既有線放電加工製程上建立不同厚度的輔助電極，並於矽晶圓基材上串聯輔助電極並加工，進而分析此試片特徵之加工誘發電流、表面合金化以及表面粗糙度。其中利用全因子實驗方法(Full-fact…
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